梅廷·斯蒂 (Metin Sitti) ，日本东京大学电气工程博士，目前是马克斯·普朗克智能系统研究所物理智能部门主任，苏黎世联邦理工学院信息技术与电气工程系教授，科奇大学医学院和工程学院教授，以及总部位于美国匹兹堡的塞特克斯技术公司（Setex Technologies Inc.）联合创始人。他曾担任加州大学伯克利分校研究科学家、卡内基·梅隆大学机械工程系和机器人研究所教授。他的研究领域是机器人学，尤其是微型和纳米级机器人方向。

适读人群 ：工科相关专业本科生、研究生及研究人员
微米和纳米尺度科学与技术的进步催生了对新型微系统的需求，这些系统在医疗保健、生物技术、制造和移动传感器网络等应用中具有重要作用。这也催生了微型机器人这一新兴领域，将机器人的交互和探索扩展到亚毫米尺度。本书是第一本介绍微米级移动机器人的专业书籍，涵盖微型机器人设计、分析、制造和控制的基础知识，并给出了相关案例研究。

译者序

随着科技的进步，机器人应用从工业领域向社会广泛领域延伸，机器人微型化已经成为机器人学的一个发展方向。随着微纳米尺度科学技术的飞速发展，对芯片微型化、集成化以及微电子技术的控制，使得移动微型机器人的研发成为可能。利用微机电系统技术研制出的移动微型机器人在结构体积上变得更小，节约了大量材料和制造成本，更为重要的是，移动机器人的微型化为机器人的应用开辟了更为广阔的前景。移动微型机器人针对狭小非结构环境，如在航空探索、环境探测、军事侦察、机械和生物学中微小物体的采集与运输等特殊场景，执行自主作业任务，并能够非侵入性地进入小的封闭空间，直接操纵微纳米尺度实体或与之交互，这是人类或大多数机器人无法实现的，极大地扩大了机器人的应用范围。本书介绍了移动微型机器人的基本理论和典型应用，无论是研究人员、工程师，还是学生，都需要对这些专业知识和信息有足够的了解和把握。

本书是Metin Sitti教授教学工作的积累。主要内容包括：移动微型机器人的定义及发展历程、缩放规律、所受相关力，移动微型机器人的制造、传感器、机载驱动方式，自推进式的驱动方法，以及远程微型机器人的驱动、动力、运动、定位与控制，微型机器人的应用等。本书语言精练，内容深入浅出，实例简单易懂，知识量大，体现了Metin Sitti教授在移动微型机器人研究领域的高深造诣。

本书第1~6章由哈尔滨理工大学姜金刚翻译，第7、8章由哈尔滨理工大学裘智显翻译，第9、10章由哈尔滨理工大学鲍玉冬翻译，第11章由哈尔滨理工大学薛钟毫翻译，第12、13章由哈尔滨理工大学马宏远翻译。全书由姜金刚统稿、定稿。研究生谭余健、孙乾泷、秦华君、赵铭强、李旭飞、黄宇轩、刘耐斌、张权文、邱群松、熊江龙、王翰、姜仕钊等参与了本书的部分文稿整理工作，在此表示由衷的感谢！本书可作为高年级本科生和工科研究生设计和研制移动微型机器人的教材，也可作为科研人员和工程师学习移动微型机器人的参考资料。限于译者的经验和水平，书中难免存在疏漏和不足之处，恳请读者批评指正！

姜金刚
2024年5月19日

目　　录
译者序
致谢

第1章　绪论1
1.1　不同尺度移动微型机器人的定义1
1.2　微型机器人的发展历程5
1.3　本书概览7
第2章　微型机器人的缩放定律10
2.1　动态相似性和无量纲数11
2.2　表面积和体积的缩放及其意义14
2.3　机械、电气、磁和流体系统的缩放14
2.4　小尺度运动系统的放大实例研究17
2.5　习题18
第3章　作用在微型机器人上的力20
3.1　相关定义21
3.2　空气和真空中的表面力23
3.2.1　范德华力24
3.2.2　毛细力（表面张力）26
3.2.3　静电力29
3.2.4　通常的微米尺度力的比较30
3.2.5　特殊相互作用力31
3.2.6　其他几何形状接触产生的力31
3.3　液体中的表面力32
3.3.1　液体中的范德华力32
3.3.2　双层力33
3.3.3　水合（斯特里克）力34
3.3.4　疏水力34
3.3.5　总结34
3.4　附着力35
3.5　弹性接触的微纳力学模型36
3.5.1　其他接触几何形状40
3.5.2　黏弹性效应41
3.6　摩擦和磨损41
3.6.1　滑动摩擦42
3.6.2　滚动摩擦43
3.6.3　旋转摩擦44
3.6.4　磨损44
3.7　微流体44
3.7.1　黏性阻力45
3.7.2　拖曳扭矩46
3.7.3　壁效应47
3.8　微米尺度力参数的测量技术47
3.9　热性能49
3.10　确定性与随机性50
3.11　习题50
第4章　微型机器人制造53
4.1　双光子立体光刻55
4.2　晶圆级工艺57
4.3　图案转印57
4.4　表面功能化59
4.5　精密微装配60
4.6　自装配61
4.7　生物相容性和生物可降解性61
4.8　中性浮力62
4.9　习题63
第5章　微型机器人传感器64
5.1　微型摄像机65
5.2　微米尺度传感原理66
5.2.1　电容传感66
5.2.2　压阻传感67
5.2.3　光学传感69
5.2.4　磁弹性遥感70
第6章　微型机器人的机载驱动73
6.1　压电驱动73
6.1.1　单晶压电驱动器77
6.1.2　案例研究：基于扑翼的小尺度飞行机器人驱动78
6.1.3　双晶压电驱动器81
6.1.4　压电薄膜驱动器82
6.1.5　聚合物压电驱动器82
6.1.6　压电纤维复合驱动器82
6.1.7　采用压电驱动器的冲击驱动机构83
6.1.8　超声波压电电动机83
6.1.9　压电材料传感器84
6.2　形状记忆材料驱动84
6.3　聚合物驱动器85
6.3.1　导电聚合物驱动器86
6.3.2　离子聚合物-金属复合材料驱动器87
6.3.3　介电弹性体驱动器87
6.4　微机电系统微型驱动器88
6.5　磁流变和电流变液驱动器89
6.6　其他90
6.7　总结90
6.8　习题90
第7章　自推进式微型机器人的驱动方法92
7.1　基于自生成梯度或场的微驱动92
7.1.1　自电泳推进92
7.1.2　自扩散泳推进94
7.1.3　基于自生成微气泡的推进95
7.1.4　自声泳推进96
7.1.5　自热泳推进96
7.1.6　基于自生成马兰戈尼流的推进97
7.1.7　其他98
7.2　基于生物混合细胞的微驱动98
7.2.1　作为驱动器的生物细胞100
7.2.2　细胞与人工成分的结合101
7.2.3　控制方法102
7.2.4　案例研究：细菌驱动的微型游动机器人103
7.3　习题109
第8章　远程微型机器人驱动110
8.1　磁驱动110
8.1.1　磁场安全112
8.1.2　磁场的产生113
8.1.3　特殊的线圈结构114
8.1.4　非均匀场设置115
8.1.5　驱动电子设备116
8.1.6　永磁体产生的场116
8.1.7　磁共振成像系统的磁驱动117
8.1.8　六自由度磁驱动118
8.2　静电驱动119
8.3　光驱动120
8.3.1　光热机械微驱动120
8.3.2　光热毛细微驱动120
8.4　电毛细驱动121
8.5　超声波驱动121
8.6　习题122
第9章　微型机器人的动力123
9.1　运动所需的功率124
9.2　机载储能125
9.2.1　微型电池125
9.2.2　微型燃料电池126
9.2.3　超级电容器127
9.2.4　核（放射性）微功率电源127
9.2.5　弹性应变能127
9.3　无线（远程）供电127
9.3.1　通过射频场和微波进行无线供电128
9.3.2　光学功率束传输128
9.4　能量收集129
9.4.1　利用太阳能电池收集入射光129
9.4.2　机器人运行介质中的燃料或ATP129
9.4.3　以酸性介质为动力的微型电池129
9.4.4　机械振动收集130
9.4.5　温度梯度收集130
9.4.6　其他收集方式130
9.5　习题131
第10章　微型机器人的运动132
10.1　固体表面运动133
10.1.1　基于拉力或推力的表面运动133
10.1.2　受生物启发的双锚爬行134
10.1.3　基于黏滑运动的表面爬行135
10.1.4　滚动136
10.1.5　微型机器人表面运动实例136
10.2　3D流体中的游动运动143
10.2.1　基于拉力的游动144
10.2.2　基于鞭毛或起伏的生物启发的游动144
10.2.3　基于化学推进的游动145
10.2.4　基于电化学和电渗推进的游动146
10.3　水面运动146
10.3.1　静力学：停留在液体空气界面上146
10.3.2　液体空气界面上的动态运动148
10.4　飞行150
10.5　习题151
第11章　微型机器人的定位与控制153
11.1　微型机器人的定位153
11.1.1　光学追踪153
11.1.2　磁追踪153
11.1.3　X射线追踪154
11.1.4　超声追踪155
11.2　控制、视觉、规划和学习155
11.3　多机器人控制156
11.3.1　通过局部捕获定位157
11.3.2　通过异质机器人设计定位158
11.3.3　通过选择性磁禁用进行定位160
11.4　习题163
第12章　微型机器人的应用164
12.1　微小零件操纵164
12.1.1　基于接触式的机械推动操纵164
12.1.2　基于毛细力的接触式操纵165
12.1.3　非接触式流体操纵165
12.1.4　自主操纵169
12.1.5　生物物体操纵170
12.1.6　团队操纵170
12.1.7　微型工厂171
12.2　医疗保健172
12.3　环境修复173
12.4　可重构微型机器人173
12.5　科研工具175
第13章　总结与展望177
13.1　现状总结177
13.2　未来展望178
参考文献180