纳米压印技术
- 书籍语言：简体中文
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- 发布日期：2025-09-06
- 连载状态：全集
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- ISBN：9787030325594
- 运行环境：pc/安卓/iPhone/iPad/Kindle/平板
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内容简介
近年来，纳米压印技术迅猛发展，已引起业界广泛关注。《纳米压印技术》结合作者所在单位——纳米加工技术实验室的研究工作，基于近年来纳米压印的研究成果编写而成。纳米压印技术包括压印图形转移和后续的刻蚀结构转移过程。《纳米压印技术》首先简单介绍了纳米压印技术的研究现状；然后系统介绍了压印模板的制备和处理、压印用光刻胶、压印工艺和刻蚀工艺等，并着重阐述了纳米压印加工制造技术；此外，还介绍了纳米压印技术在半导体光电器件、半导体存储器件、生物技术和生命科学等领域的最新应用。